硅抛光片检测标准
1、GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法
2、GB/T 6624-1995 硅抛光片表面质量目测检验方法
3、GB/T 6621-1995 硅抛光片表面平整度测试方法
4、GB/T 12964-2003 硅单晶抛光片
5、GB/T 4058-1995 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
6、GB/T 17169-1997 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法
硅抛光片检测范围
单晶硅抛光片,半导体硅抛光片,硅单面抛光片,硅氧化抛光片,硅晶抛光片外延片,电子级硅抛光片,硅晶圆抛光片等。
硅抛光片检测项目
表面颗粒测试,显微组织测试,形貌测试,表面粗糙度测试,洁净包装测试,金属杂质测试,表面气体吸附测试,硬度测试等。
硅抛光片检测流程
1、沟通需求(在线或电话咨询);
2、寄样(邮寄样品支持上门取样);
3、初检(根据客户需求确定具体检测项目);
4、报价(根据检测的复杂程度进行报价);
5、签约(双方确定--签订保密协议);
6、完成实验(出具检测报告,售后服务);
以上是硅抛光片检测的相关介绍,如有其他检测需求可以咨询实验室工程师帮您解答。
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