高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氩，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.99%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。
高纯气体检测标准
1、GB/T 18994-2014 电子工业用气体 高纯氯
2、GB/T 18994-2003 电子工业用气体 高纯氯
3、GB/T 14601-1993 电子工业用气体 高纯氨
高纯气体检测项目
纯度、组份、热值、杂质、水分、密度、钠含量、磷化氢、砷化氢等金属含量、氢气含量、氧气含量、氩气含量、甲烷含量、氦气含量、氖气含量、氪气含量、氙气含量、氧化亚氮、一氧化氮、二氧化氮、四氧化二氮、总氮含量、一氧化碳、二氧化碳、三氧化硫、甲硫醇、乙硫醇、苯硫酚、甲硫醚、乙硫醚、噻吩、总硫、总氯、有机氯、氟化物、溴化物、醛值、过氧化物、氮氧化物、苯含量、甲苯含量、对二甲苯含量、间二甲苯含量、邻二甲苯含量、乙基苯含量、MTBE含量、醇类含量、密度、比重、高位发热量、低位发热量、沃泊指数、燃烧势、颗粒物、烃露点、煤焦油含量、成分分析等。
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